三、伺服動作要求
       100W伺服電機通過同步帶帶動連桿快速正反轉實現裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時針和順時針方向位移，逆時針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時針固定晶圓。此動作要求：1.快速定位時，馬達要平穩(wěn)，不能抖動，否則吸晶和固晶的位置會不準確；2.客戶要求每個動作周期盡量的快，由此對伺服的響應有較高要求。 
通過伺服增益參數的調整，終可以實現鍵合臂伺服在3msec內完成整定，整個固晶周期為245msec/顆，獲得客戶的認可。 
伺服參數設定

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